電阻率是反映半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測量電阻率的方法很多，四探針法是一種廣泛采用的標準方法。它的優(yōu)點是設(shè)備簡單、操作方便，精確度高，對樣品的形狀無嚴格要求。
四探針電阻測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備，用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）。適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，實驗室；是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具。可配置不同測量裝置測試不同類型材料之電阻率。液晶顯示，溫度補償功能，自動量程，自動測量電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)。恒流源輸出；選配：PC軟件過程數(shù)據(jù)處理和標準電阻校準儀器，薄膜按鍵操作簡單，中文或英文兩種語言界面選擇。
四探針電阻測試儀需要注意的一些事項：
1、儀器操作前請您仔細閱讀使用說明書，規(guī)范操作
2、輕拿輕放，避免儀器震動，水平放置，垂直測量
3、儀器不使用時請切斷電源，連接線無需經(jīng)常拔下，避免灰塵進入航空插引起短接等現(xiàn)象
4、探針筆測試結(jié)束，套好護套，避免人為斷針。
